金融界2025年5月17日消息，国家知识产权局信息显示，复旦大学和中山亚威光电科技有限公司申请一项名为“一种基于双通道光学成像的晶圆缺陷检测系统”的专利，公开号CN119985504A，申请日期为2025年3月。

专利摘要显示，本发明属于光学精密测量技术领域，具体为一种基于双通道光学成像的晶圆缺陷检测系统。本发明将暗场散射与衍射相位显微技术相结合，作为两个光学成像通道；两种成像模式的光路兼容性与同步；通过光学系统校准与优化，实现多模态图像的高精度采集与对齐；利用标准样品对系统进行灵敏度与分辨率标定，确保检测性能满足预设要求；对待测晶圆样品进行双通道同步成像，分别获取暗场散射图像与衍射相位图像；通过图像算法对多模态数据进行联合分析，提取缺陷的尺寸、深度及结构信息，并生成高精度的缺陷检测报告；具体包括暗场散射成像模块、衍射相位显微成像模块、图像处理单元；本发明可有效克服单一成像模式的缺陷，显著提升系统的检测精度与鲁棒性。

本文源自：金融界

作者：情报员